槽蓋
背景技術(shù):
在硅片清洗行業(yè)中,一般是通過(guò)強(qiáng)酸或強(qiáng)堿作為清洗液,在清洗過(guò)程中,不可避免的會(huì)產(chǎn)生一些有毒有害的氣體,為了防止這些氣體的外溢,清洗槽一般設(shè)有槽蓋,但現(xiàn)有技術(shù)中的槽蓋,在開(kāi)啟和關(guān)閉過(guò)程中會(huì)占用較大的空間,造成空間的浪費(fèi)。
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